IPEC 472 предназначена для химико-механической полировки диэлектрических слоев. Загрузочная кассета - на 25 пластин. Пластина полируется с использованием суспензии Klebosol.
Установка AXUS DSS 200 обеспечит отмывку пластин от суспензии Klebosol водой и 2% раствором аммиака.
Ранее эти процессы обеспечивала советская линия Лада-150.
Сейчас на производстве идет процесс отработки новых транспортных маршрутов.
Подробнее: integral.by
----
За новостями микроэлектроники и полупроводников удобно следить в телеграм-канале RUSmicro