Микроэлектроника: Российские ученые подобрали катализаторы для синтеза моносилана

Моносилан применяют в производстве поликремния, необходимого для изготовления фотоэлементов и ЖК-экранов. Моносилан, в свою очередь, синтезируют из трихлорсилана, применяя для этого каталитические системы.

Каталитический синтез моносилана. Автор иллюстрации - Андрей Воротынцев 

В Нижегородском государственном техническом университете им. Р.Е.Алексеева, руководитель проекта - снс Андрей Воротынцев, при поддержке коллег из ННГУ им. Лобачевского и УрФУ разработали каталитический комплекс, в который входит органическое соединение на основе имидазола (4-метил имидазол). Этот комплекс эффективнее применяемого сейчас комплекса катализаторов на основе триалкиламмония.

Источник: indicator.ru, подробнее в  Journal of Catalysis, картинка - Андрей Воротынцев

----

За новостями микроэлектроники и полупроводников удобно следить в телеграм-канале RUSmicro ; или в FB: facebook.com/RUSmicro/